2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[20p-E8-1~8] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2014年3月20日(木) 13:00 〜 15:00 E8 (E202)

14:15 〜 14:30

[20p-E8-6] チャネルストッパー構造を有する全液相プロセス酸化物TFTの作製

芳本祐樹1,TuePhanTrong2,3,堀朋子2,井上聡2,3,下田達也1,2,3 (北陸先端大マテ研究科1,北陸先端大 GDRC2,JST-ERATO3)

キーワード:全液相プロセス酸化物TFT,チャネルストッパー