2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[20p-F12-1~6] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月20日(木) 13:30 〜 15:00 F12 (F408)

13:30 〜 13:45

[20p-F12-1] NBTストレス誘起RTSのEDMR解析

与名本欣樹 (日立横研)

キーワード:NBTI,RTS