[20p-F2-1~7] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[20p-F2-7] プロトンビーム描画技術による単結晶CVDダイヤモンド内部への微細構造形成技術の開発

^○神林佑哉¹，加田渉¹，猿谷良太¹，久保田篤志¹，佐籐隆博²，江夏昌志²，石井保行²，神谷富裕²，三浦健太¹，花泉修¹ (群馬大¹，原研高崎²)

キーワード：ダイヤモンド,diamond,プロトン