[20p-F8-1~8] 5.3 光制御

△ [20p-F8-5] ギャッププラズモンとITOを利用したGaInAsP/InP GSPP変調器の特性解析

^○（M2）村井英淳¹，雨宮智宏²，顧之?¹，西山伸彦¹，荒井滋久^1,2 (東工大電気電子工学専攻¹，東工大量子ナノエレクトニクス研究センター²)

キーワード：変調器,ITO,プラズモン