■空冷式ドライ真空ポンプNeoDryシリーズ ■高真空排気システム（ターボ分子ポンプ+粗びきポンプ）

■名古屋大学プラズマナノ工学研究センター発ベンチャー３社、協力会社1社の合同出展ブー スとなっております。

様々な分野（半導体、材料、農業、医療関連など）に適したプラズマ発生装置を提供いたします。

■B2900Aシリーズ プレシジョン・ソース / メジャー・ユニット（SMU）

■容器、成膜基板

■～「あったらいいな！」を形にする57年目の真空装置メーカーです。～ 【研究開発用実験装置・機器・部品】 ・ＯＬＥＤ成膜装置（1ｲﾝﾁ～4ｲﾝﾁ）※省ｽﾍﾟｰｽ・短納期・低ｺｽﾄ ・自動制御ソフトウエアのご紹介（オーダーメイド対応） ・小型蒸着源（ICF-70）／分析装置用コンポーネント展示 ・各種導入機（直線・回転導入機） ・各種加工部品（特殊材料：Ta,Mo,W,Ti,セラミッ...

■半導体製造プロセスにお使いいただけるバルブ・継手・ユニットを幅広く取り揃えております。当日は各種バルブ・継手のほか、注目製品の熱交換器、調湿ユニット等を展示予定です。

■外国雑誌サンプル及びパネル展示等

■安定性No.1 M-342DG キャパシタンスゲージ ■研究開発ツール キヤノンアネルバ製 四重極型質量分析計

■再利用真空機器・電流導入端子・マグネトロンスパッタ源・真空フランジ/配管部品・超高真空窓・マスフローコントローラー

■国内外３０社を超える結晶メーカー・加工メーカーの結晶を扱っております。特に研究開発用の薄膜用基板や構造解析用結晶などは得意です。 ■金属単結晶・合金結晶 　■酸化物単結晶　■半導体結晶　■フッ化物・アルカリハライド単結晶　■クリスタルカッター

■世界最高レベルの130kVという加速電圧を持つ新モデルCABL-UHシリーズを紹介します。また、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVでビームスポット2nm、最小線幅5.6mm、つなぎ精度10nm等の性能を実現します。

■クロスライトソフトウエアは半導体デバイスシミュレーションソフトウェアの開発・販売を行っています。シリコン・化合物から成るパワーデバイスや発光素子など様々な半導体デバイスのバンド図、電気、光学、温度など各特性を計算、プロットアウトします。ユーザー独自の材料モデルも設定可能です。本展示にて、半導体デバイスシミュレーションソフトウェアAPSYS、半導体レーザシミュレーションソフトウェアLASTI...

■酸化物単結晶基板 ■超伝導薄膜（YBCO膜） ■超伝導線材 評価装置（Tapestar XL） 他

■無制限・強連成マルチフィジックスシミュレーションソフトウェア「COMSOL Multiphysics」本ソフトウェアは、スウェーデン・COMSOL ABにより開発された、マルチフィジックス解析を前提として設計されている有限要素法(FEM)ベースの汎用物理シミュレーション(CAE)ソフトウェアです。マルチフィジックス機能はあらゆる物理現象の組み合わせに対応(3種類以上の物理現象を無制限かつ自...

■スパッタ装置、1インチスパッタカソード、石英微細加工品

■次世代の囲わないクリーンベンチ

■CVD材料、スパッタリングターゲット、各種粉末、粒状材料、スピンコート材料、その他

■幸田町の企業支援の取り組み、産業用地の紹介

■高精度形状測定システムDyvoce（ダイボス）～半導体ウエハの反りをはじめとする形状を簡単・高精度測定～　非接触型の形状測定システム（ダイボス）は生成した2D/3DモデルからSEMI規格のSORI・BOW・GBIR等の各種規格値の自動算出が可能です。お客様の仕様に合わせたカスタマイズも可能です。

■薄膜材料の開発支援サービス