■パルス合成方式 フラッシュ焼成装置

■ALD装置、MO-CVD装置、CVD装置、スパッタ装置、管状炉、MBE装置、ガス供給装置、液体気化供給装置、RFジェネレーター、真空チャンバー、ターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、真空部品

■Rainbow:超広域帯、数サイクルパルス発振器

■ホール効果測定装置、真空機器・部品、薄膜形成加工装置

■オゾン濃度測定機