09:45 〜 10:00
△ [13a-1C-4] UV励起光源を用いたラマン分光法及びライフタイム測定による多結晶シリコン薄膜の評価
キーワード：ラマン分光法、多結晶シリコン、ライフタイム
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[13a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年9月13日(日) 09:00 〜 11:45 1C (135)
座長:河本 直哉(山口大),松尾 直人(兵庫県立大)