10:45 〜 11:00
[13a-1C-7] 中空構造SOI層の低温転写におけるFTIR-ATRを用いた
シリコン/PET界面の化学結合状態評価
キーワード：半導体、フレキシブル基板
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[13a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年9月13日(日) 09:00 〜 11:45 1C (135)
座長:河本 直哉(山口大),松尾 直人(兵庫県立大)