[13a-4C-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[13a-4C-11] 赤外分光による強誘電性Hf(Y)O膜の構造解析

〇井野 恒洋¹、中崎 靖¹、藤井 章輔¹、松下 大介¹ (1.東芝)

キーワード：強誘電、ハフニウム、Ｈｆ

XRDでは区別が難しいPbc2₁相とPbca相に対してPHASEプログラムを用いた第一原理計算による振動モードを求めた。強誘電体となるHf(Y)OにおけるFTIR実験と比較したところ、Pbca相とは大きく異なる振動スペクトルを得た。P4₂/nmc相やP2₁/c相とも異なり、Pbc2₁相が主相であると考えられる。