[13p-1C-1~15] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13p-1C-7] ミニマルスパッタ装置におけるAｌ薄膜の成膜性 (Ⅲ)

〇加藤 旭彦^1,3、黄 蘭²、小木曽 久人^1,2、中野 禅^1,2、薮田 勇気^1,3、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.誠南工業株式会社)

キーワード：HiPIMS