[13p-1C-1~15] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13p-1C-9] ミニマルファブパッケージ工程におけるリソグラフィの活用

〇東野 泰英¹、居村 史人^1,2、井上 道弘²、猿渡 新水^1,2、クンプアン ソマワン^1,2、原 史郎^1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)

キーワード：ミニマル、パッケージ、リソグラフィ