2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-1D-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 20:15 1D (141+142)

座長:斉藤 真(三菱化学),岡田 成仁(山口大),岩谷 素顕(名城大)

16:15 〜 16:30

[13p-1D-12] r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層アニール効果

〇林 家弘1、安井 大貴1、玉置 真哉1、三宅 秀人1、平松 和政1 (1.三重大院工)

キーワード：窒化アルミニウム