2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-1D-1~26] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 20:15 1D (141+142)

座長:斉藤 真(三菱化学),岡田 成仁(山口大),岩谷 素顕(名城大)

18:15 〜 18:30

△ [13p-1D-19] ラジカル支援有機金属化学気相成長法によるAlInNの成長

〇岩本 一希1、盧 翌1、高井 慎之介1、小田 修1、近藤 博基1、石川 健治1、関根 誠1、堀 勝1 (1.名大院工)

キーワード：AlInN、低温成長、REMOCVD