[13p-2F-1~16] 3.7 Laser processing

△ [13p-2F-7] Direct writing of micro-thermoelectric sensors using femtosecond laser reduction

〇Mizue Mizoshiri¹, Yasuaki Ito², Shun Arakane¹, Junpei Sakurai¹, Seiichi Hata¹ (1.Nagoya Univ., 2.Faculty of Engineering, Nagoya Univ.)

Keywords:femtosecond laser microprocessing,reductive sintering,micro-temperature sensor

フェムト秒レーザ還元直接描画法を利用して，Cu-rich，Cu₂O-richパターンを選択的に描画し，マイクロ温度センサを作製した．CuOナノ粒子と還元剤からなるCuOナノ粒子溶液をガラス基板上に塗布し，レーザ描画速度を500 µm/s，1000 µm/sとして描画したところ，Cu-rich及びCu₂O-rich還元パターンが形成された．絶対値の大きな抵抗温度係数を有するCu₂O-richパターンをセンサ部，導電性の配線部をCu-richパターンとする，マイクロ温度センサを直接描画形成し，導電性を確認した．