[13p-2F-1~16] 3.7 Laser processing

△ [13p-2F-8] Direct Fabrication of Chrome Nano-Structures by Femtosecond Laser Induced Forward Transfer (LIFT)

〇Koki Omachi¹, Takahiro Nakamura¹, Shunich Sato¹ (1.IMRAM, Tohoku Univ.)

Keywords:Laser Induced Forward Transfer (LIFT),femtosecond pulsed laser,direct writing

レーザー光を用いた直接描画手法の一つにレーザー誘起前方転写法がある．これまでに報告された同手法による最小の構造物は330 nmのクロムドットである．我々は，フェムト秒パルスレーザーを用いて集光条件などの実験条件を詳細に検討することにより，所定の場所に約100 nmのクロムの単一微小ドットを形成することに成功した．これは，照射ビームの優れた横断面強度分布特性と，精密な光学アライメントに起因しているものと思われる．