[13p-2K-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[13p-2K-7] Manipulation Method for Polystyrene Nanoparticle Using Electron Microscopy

〇Kazumasa Kaneko¹, Ryo Kanou¹, Hirosi Suga¹, Tetsuo Shimizu² (1.CIT, 2.AIST)

Keywords:Scanning Electron Microscope,Nanoparticle,InSitu

走査型電子顕微鏡観察下マニピュレーション法はナノ微粒子の１つの電気特性を計測する有効な方法であるが，温度で変質する微粒子の吸着率を向上させる方法は未知であり，機能性有機分子などの微粒子を計測できない．我々は熱により変質するポリイミド微粒子をタングステン探針でマニピュレーションする際に，探針加熱や表面処理が吸着操作に与える影響を調べ，微粒子のプラズマ処理により探針への吸着率が増すことを明らかにした．