[13p-2S-1~15] 3.15 Silicon photonics

△ [13p-2S-14] Graphene optical modulator on silicon waveguide controlled by fine metal-top gate

〇YOSUKE HORI¹, Rai Kou^2,3, Tai Tsuchizawa^2,3, Shinichi Tanabe³, Yuzuki Kobayashi¹, Yuichi Harada⁴, Hiroki Hibino⁴, Tsuyoshi Yamamoto³, Koji Yamada^2,3, Hirochika Nakajima¹ (1.Waseda Univ., 2.NTT Nanophotonics Center, 3.NTT Device Technology Labs., 4.NTT Basic Research Labs.)

Keywords:Silicon Photonics,graphene,modulator

グラフェンは様々な光学的性質を有しており、光デバイスの応用に向けて盛んに研究が行われている。そこで我々はイオン注入フリーのトップゲート構造のグラフェン光変調器を提案し、シミュレーションによる構造最適化を行ってきた。その結果、作製プロセスの簡略化とともに、光変調が行えることを示した。本稿では、提案したデバイス構造を作製し、基礎的なデバイス特性を明らかにした上で光変調動作を実証した。