[13p-2S-1~15] 3.15 Silicon photonics

[13p-2S-2] Fabrication of Broadband 2x2 Silicon Optical Switch with WINC

〇Keijiro Suzuki¹, Ken Tanizawa¹, Guangwei Cong¹, Kazuhiro Ikeda¹, Shu Namiki¹, Hitoshi Kawashima¹ (1.AIST)

Keywords:optical switch,optical integrated circuit

我々はWavelength Independent Coupler (WINC) を用いたMach-Zehnderスイッチを作製した．数値解析では，-40 dB以下のクロストークがCLバンドにおいて得られることが見積もられた．デバイスは液浸ArFスキャナーを用いて300-mm SOI基板上に作製され，そのクロストークは-20 dB程度であった．解析との違いは位相誤差に起因すると推測される．