[13p-2S-1~15] 3.15 Silicon photonics

[13p-2S-9] High-Efficiency of Symmetric and Asymmetric MOS Capacitor Type Si Optical Modulator, Using Carrier Accumulation Mode

〇Masataka Noguchi¹, Junichi Fujikata¹, Shigeki Takahashi¹, Masashi Takahashi², Takahiro Nakamura¹ (1.PETRA, 2.AIST)

Keywords:Optical Modulator

1.3μm波長帯において設計したMOS型変調器をキャリア蓄積モードで動作させることにより、VπL=0.16V・cmの高効率動作と60μmの位相シフタ長において25Gbpsの高速動作を達成した。また、非対称構造のMOS型光変調器においても、同様の高効率動作を実証した。