[13p-2U-1~9] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[13p-2U-2] 直径，結晶性に依存したカーボンナノチューブの電気伝導特性

〇西浦 憲¹、徳富 淳一郎¹、藤岡 正弥²、田中 将嗣²、高野 義彦² (1.矢崎総業、2.物材機構)

キーワード：カーボンナノチューブ

Si/SiO₂基板上にマウントした孤立状態の多層カーボンナノチューブ(MWCNT)の電気伝導特性を調査した．電子線リソグラフィ法でAu/Ti電極を形成し，低温プローバー中で4端子法により電気伝導度を測定した．直径によらず，CNTの電気伝導度は温度とともに緩やかに上昇した．また，直径が太いほど電気伝導度が高くなる傾向が得られた．結晶性に対する依存性と合わせ，CNTの電気伝導特性について議論する．