2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[13p-2W-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 17:30 2W (234-2(北側))

座長:黒澤 昌志(名大),都甲 薫(筑波大)

16:15 〜 16:30

[13p-2W-12] 固相成長法によるSi1-x-ySnxCy多結晶薄膜の形成および結晶構造評価

〇矢野 翔大1、山羽 隆1,2、黒澤 昌志1,3、竹内 和歌奈1、坂下 満男1、中塚 理1、財満 鎭明1,3 (1.名古屋大院工、2.学振特別研究員、3.名古屋大エコトピア)

キーワード：SiSnC、固相成長