2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[13p-2W-1~16] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2015年9月13日(日) 13:15 〜 17:30 2W (234-2(北側))

座長:黒澤 昌志(名大),都甲 薫(筑波大)

14:15 〜 14:30

[13p-2W-5] イオン注入による欠陥制御を用いて作製した圧縮歪みSi/Si1-xCx ヘテロ構造の熱的安定性

〇有澤 洋1、星 裕介1、有元 圭介2、山中 淳二2、中川 清和2、澤野 憲太郎3、宇佐美 徳隆1 (1.名古屋大、2.山梨大、3.東京都市大)

キーワード：歪みSi、イオン注入、熱的安定性