[13p-4E-1~20] 6.5 表面物理・真空

[13p-4E-4] 水分子が吸着したGeO₂/Ge構造の特異な帯電状態のAP-XPS観測

〇有馬 健太¹、森 大地¹、岡 博史¹、細井 卓治¹、川合 健太郎¹、Liu Zhi²、渡部 平司¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工、2.バークレー国立研)

キーワード：酸化膜、帯電、水蒸気

ambient-pressure XPSを用いて、水蒸気を含む気相中に置かれたGeO₂/Ge及びSiO₂/Si構造を観測した。そして、Ge3d及びSi2pスペクトルから各酸化膜の帯電状態を解析した。次に、それらを超高真空中で得たスペクトルと比較した。その結果、Ge基板上のGeO₂薄膜はSi上のSiO₂とは異なり、X線照射とは無関係に、水蒸気に触れるだけで酸化膜の正帯電が進行することが示唆された。