[13p-4E-1~20] 6.5 表面物理・真空

△ [13p-4E-8] 半導体(111)表面上のアドアトム交換の理論研究

〇エンケタイワン バトニヤマ¹、押山 淳¹ (1.東大院工)

キーワード：半導体、表面、原子操作

Ge(111)-c(2x8)のアドアトムの位置に吸着したPb原子が室温付近で、隣のGeアドアトムと位置を交換することが知られている。さらに、AFMの探針を用いてSi(111)-7x7のアドアトムの位置に吸着したSb原子やGe(111)-c(2x8)のアドアトムの位置に吸着したSn原子を隣のアドアトムと交換させることが実験で成功している。本研究では、アドアトム交換の共通の微視的な反応経路を解明し、それぞれの原子交換のエネルギー障壁を計算した。またAFM探針の果たす役割を明らかにした。