[13p-4F-1~9] 液体シリコンの科学と最新動向

[13p-4F-1] シクロペンタシランを用いた液体シリコン材料の物性と応用

〇下田 達也¹ (1.北陸先端大)

キーワード：シクロペンタシラン、液体シリコン、液体プロセス

シクロペンタシラン(CPS) は水素化シランの中で比較的安定な物質である。CPSから半導体デバイスに必要な種々のシリコン材料を作製できる。CPSは紫外線照射でポリシランになる。ポリシランの炭化水素溶液をシリコンインクと称する。シリコンインクを塗布、焼成すると固体シリコン薄膜が得られる。我々は、そのプロセスの各段階に現れる材料物性、プロセス特有の現象を詳しく研究して液体シリコン材料の全体像を明らかにした。