2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » 液体シリコンの科学と最新動向

[13p-4F-1~9] 液体シリコンの科学と最新動向

2015年9月13日(日) 13:15 〜 17:45 4F (438)

座長:近藤 道雄(産総研),寺川 朗(パナソニック)

16:15 〜 16:30

[13p-4F-6] Deterioration properties of a-Si films formed using liquid Si under air exposure

〇(M2)過 程1、Ohdaira Keisuke1、Takagishi Hideyuki2、Masuda Takashi1、Shimoda Tatsuya1 (1.Jaist、2.Fukushima Univ.)

キーワード：liquid silicon、amorphous silicon