[13p-PB2-1~15] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

△ [13p-PB2-15] 結晶構造転写によるAlInPのウルツ鉱構造への結晶相転移

〇平谷 佳大¹、石坂 文哉¹、冨岡 克広^1,2、福井 孝志¹ (1.北大院情報科学および量子集積センター、2.JSTさきがけ)

キーワード：MOVPE、ウルツ鉱構造

近年、ウルツ鉱構造を有するAlInP混晶は、発光効率が高い直接遷移型半導体になることが理論的・実験的に示されている。しかし、準安定構造であるウルツ鉱構造AlInP混晶の作製は容易ではなく、デバイス応用が比較的容易なプレーナ型の報告例はない。そこで本研究では、GaN基板を用いた結晶構造転写によりプレーナ型AlInPを成長し、結晶構造の評価を行った。