[13p-PB6-1~20] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[13p-PB6-2] β-Ga₂O₃単結晶の光学非線形屈折率測定

〇齋藤 伸吾¹、市田 正夫²、尾沼 猛儀^3,1、佐々木 公平^4,1、倉又 朗人⁴、関根 徳彦¹、笠松 章史¹、東脇 正高¹ (1.情通機構、2.甲南大、3.工学院大、4.タムラ製作所)

キーワード：半導体、光学的非線形性

次世代パワーデバイス材料として有望視されているワイドバンドギャップ半導体β-Ga₂O₃は，酸化物であることから，極限環境下でもその優れた特性を発揮できることが期待される．今回，我々は，非線形屈折率および吸収率の測定を目的に，波長可変光源を用いたz-scan法を行い，非線形屈折率は石英よりも約26倍大きな値を持つことがわかった．講演では，波長依存性と非線形吸収率についても報告する．