[14a-1B-1~11] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[14a-1B-1] UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理(Ⅱ)

〇(M1)渡邉 和樹¹、松久 健司¹、佐久間 大樹¹、羽鳥 翼¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：酸化亜鉛