2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[14a-1B-1~11] 21.1 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2015年9月14日(月) 09:00 〜 12:00 1B (133+134)

座長:牧野 久雄(高知工科大)

09:15 〜 09:30

[14a-1B-2] UHVスパッタ法により成長したZnO層の大気アニール処理(Ⅲ)

〇(M1)羽鳥 翼1、佐久間 大樹1、松久 健司1、渡邉 和樹1、水野 愛1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)

キーワード:半導体