The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015

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Oral presentation

Joint Session K » 21.1 Joint Session K

[14a-1B-1~11] 21.1 Joint Session K

Mon. Sep 14, 2015 9:00 AM - 12:00 PM 1B (133+134)

座長:牧野 久雄(高知工科大)

9:30 AM - 9:45 AM

[14a-1B-3] Electric properties of ZnO graphoepitaxial films

〇Tetsuya Kudoh1, Takayoshi Oshima1, Kazuki Ohashi1, Kohei Yoshimatsu1, Akira Ohtomo1,2 (1.Tokyo Tech., 2.MCES)

Keywords:semiconductor,ZnO,Graphoepitaxy

低コストかつ高品質なデバイスの作製手法の一つとして,我々はガラス基板上でも3 次元配向制御が可能なグラフォエピタキシーに注目している.この手法をZnO に適用し,回折格子様の形状を有するガラス基板上に,グラフォエピタキシーの実証に成功した.しかし,形状の凹凸に沿って電流が流れる結果,見かけの移動度が低くなるという問題があった.ガラス基板とZnO 薄膜の間に絶縁性MgZnO薄膜を挿入することでこの問題を解決した.