9:30 AM - 9:45 AM
△ [14a-1B-3] Electric properties of ZnO graphoepitaxial films
Keywords:semiconductor,ZnO,Graphoepitaxy
低コストかつ高品質なデバイスの作製手法の一つとして,我々はガラス基板上でも3 次元配向制御が可能なグラフォエピタキシーに注目している.この手法をZnO に適用し,回折格子様の形状を有するガラス基板上に,グラフォエピタキシーの実証に成功した.しかし,形状の凹凸に沿って電流が流れる結果,見かけの移動度が低くなるという問題があった.ガラス基板とZnO 薄膜の間に絶縁性MgZnO薄膜を挿入することでこの問題を解決した.