[14a-1B-1~11] 21.1 Joint Session K

△ [14a-1B-3] Electric properties of ZnO graphoepitaxial films

〇Tetsuya Kudoh¹, Takayoshi Oshima¹, Kazuki Ohashi¹, Kohei Yoshimatsu¹, Akira Ohtomo^1,2 (1.Tokyo Tech., 2.MCES)

Keywords:semiconductor,ZnO,Graphoepitaxy

低コストかつ高品質なデバイスの作製手法の一つとして，我々はガラス基板上でも3 次元配向制御が可能なグラフォエピタキシーに注目している．この手法をZnO に適用し，回折格子様の形状を有するガラス基板上に，グラフォエピタキシーの実証に成功した．しかし，形状の凹凸に沿って電流が流れる結果，見かけの移動度が低くなるという問題があった．ガラス基板とZnO 薄膜の間に絶縁性MgZnO薄膜を挿入することでこの問題を解決した．