[14a-1B-1~11] 21.1 Joint Session K

[14a-1B-7] Nitrogen Doping into ZnO films using non-equilibrium atmospheric pressure plasma

〇Hironori Iwasaki¹, Yukinori Nose¹, Takeshi Yoshimura¹, Atushi Ashida¹, Tsuyoshi Uehara², Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Prefecture Univ., 2.Sekisui Chemical Co., LTD.)

Keywords:atmospheric plasma,Zinc oxide,Nitrogen doping

大気圧非平衡プラズマがZnOへの窒素取り込み効率に及ぼす影響を調べるために、プラズマの発光特性とその薄膜成長への影響を検討した。0.1~760Torrにおけるプラズマ放電と放電開始電圧の変化を確認し、放電空間から2cm離れた位置で、窒素プラズマ中に高い反応性を持つ分子状励起種と高活性な原子状励起種が存在していることを確認した。