[14a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-1C-4] フッ素表面改質によるカーボンナノ機械振動子の高Q値化

〇米谷 玲皇¹、宮腰 拓実¹、前田 悦男¹ (1.東大工)

キーワード：ナノ機械振動子、Q値、表面改質

本研究では、XeF₂ガスを用いたフッ素表面改質によりカーボンナノ振動子の高Q値化を試みるとともに、共振特性と表面改質条件や表面状態の関係性を評価した。結果として、カーボンナノ振動子のQ値は、表面改質時間の増加に伴い増加し、60秒の改質処理によりおよそ1.7倍に向上することがわかった。