2015年 第76回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-1C-1~10] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年9月14日(月) 09:00 〜 11:45 1C (135)

座長:佐々木 実(豊田工大),石井 仁(豊橋技科大)

10:45 〜 11:00

[14a-1C-7] 高機能非冷却赤外線センサの広帯域化: マッシュルーム型プラズモニックメタマテリアルの吸収特性

〇小川 新平1、藤澤 大介1、秦 久敏1、木股 雅章2 (1.三菱電機株式会社、2.立命館大学)

キーワード:赤外線