[14a-1D-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[14a-1D-10] その場観察X回折法によるGaInN超格子の臨界膜厚のバリア層膜厚依存性評価

〇大角 純也¹、石原 耕史¹、山本 泰司¹、岩谷 素顕¹、竹内 哲也¹、上山 智¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大・理工、2.名古屋大・赤﨑記念研究センター)

キーワード：有機金属気相成長法、その場観察X線回折測定、超格子

GaInN超格子構造はLEDやレーザー・センサー等のアプリケーションで広く使用される。また、そのバンドギャップエネルギーは太陽光スペクトルのほぼ全範囲に相当することから太陽電池材料としての応用が期待されている。これまで、超格子構造のミスフィット転位導入の臨界膜厚の測定にその場X線回折法が有用であることを明らかにしてきた。本発表では、その手法を用いバリア層の臨界膜厚を検討し、構造による臨界膜厚の変化を検討した。