[14a-1E-1~9] 12.1 Fabrications and Structure Controls

[14a-1E-7] Fabrication of fully printed ferroelectric capacitor using P(VDF-TrFE)

〇Tomohito Sekine¹, Ryo Sugano¹, Tomoya Tashiro¹, Kenjiro Fukuda^1,2, Daisuke Kumaki¹, Fabrice DOMINGUES DOS SANTOS³, Atushi Miyabo⁴, Shizuo Tokito¹ (1.Yamagata Univ ROEL, 2.JST PRESTO, 3.Piezotech, 4.ARKEMA K.K)

Keywords:ferroelectric,Printed

圧電性を有するP(VDF-TrFE)は塗布法で作製可能なため、印刷型物理センサへの応用が期待されている。これまで我々は、印刷型銀電極とP(VDF-TrFE)を組み合わせた塗布型強誘電性キャパシタの作製に成功しているが、蒸着銀電極を用いたキャパシタと比較して強誘電性が劣ることを確認している。今回、我々は印刷型銀電極表面を改質することで印刷型強誘電性キャパシタの特性改善に成功したので報告する。