[14a-1E-1~9] 12.1 作製・構造制御

[14a-1E-7] P(VDF-TrFE)を用いた印刷型強誘電性キャパシタの作製

〇関根 智仁¹、菅野 亮¹、田代 智也¹、福田 憲二郎^1,2、熊木 大介¹、Fabrice DOMINGUES DOS SANTOS³、宮保 淳⁴、時任 静士¹ (1.山形大ROEL、2.JSTさきがけ、3.Piezotech、4.アルケマ)

キーワード：強誘電体、印刷

圧電性を有するP(VDF-TrFE)は塗布法で作製可能なため、印刷型物理センサへの応用が期待されている。これまで我々は、印刷型銀電極とP(VDF-TrFE)を組み合わせた塗布型強誘電性キャパシタの作製に成功しているが、蒸着銀電極を用いたキャパシタと比較して強誘電性が劣ることを確認している。今回、我々は印刷型銀電極表面を改質することで印刷型強誘電性キャパシタの特性改善に成功したので報告する。