[14a-2K-1~12] 1.6 Ultrasonics

[14a-2K-9] Loss Reduction of Leaky SAW by Loading with High-velocity Thin Film

〇Shoji Kakio¹, Keiko Hosaka¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:leaky SAW,AlN thin film

AlN薄膜を装荷した回転YカットLiNbO₃において，リーキー弾性表面波(LSAW)伝搬減衰のカット角依存性を検討した．AlN薄膜の膜厚増加に従い，ゼロ減衰を示すカット角が60°付近から0°にシフトすることを理論的，実験的に明らかにした．