[14a-2N-1~11] 3.15 Silicon photonics

△ [14a-2N-6] Optical Propagation characteristics of n-doped Germanium Waveguides

〇Tadashi Okumura¹, Katsuya Oda¹, Junichi Kasai¹, Misuzu Sagawa¹, Yuji Suwa¹ (1.Hitachi R&D Group)

Keywords:Germanium,Optical gain,Laser

シリコンモノリシック集積光源の実現に向けて、ゲルマニウム(Ge)導波路の伝搬光強度に対する、n型ドーピングの効果を調べた。n型ドーピングされたGe導波路は、光励起強度の増加に伴って、導波路の利得・損失項 (g-α) が増加することを確認し、光学利得発現に有効な方法であることを示した。