[14a-2T-1~12] 17.1 Growth technology

[14a-2T-2] Effects of Preparation Conditions on Graphene Synthesis from Graphene Oxide with CH₄ Plasma

〇Seiji Obata¹, Minoru Sato¹, Keishi Akada¹, Koichiro Saiki¹ (1.Univ.of Tokyo)

Keywords:graphene,plasma

メタンプラズマ処理によって酸化グラフェンからグラフェンを絶縁基板上に直接生成する手法の開発を行ってきたが、今回は生成条件の最適化を目指し、各種パラメータの影響の解明を試みたので報告する。