[14a-4F-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-4F-5] フィルタードアーク蒸着によって形成したフッ素含有ダイヤモンドライクカーボン膜

〇今井 貴大¹、藤井 裕真¹、山野 将史¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 祐史³、辻 信広³ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学工業、3.オンワード技研)

キーワード：フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン、フィルタードアーク蒸着