[14a-4F-1~11] 6.2 Carbon-based thin films

△ [14a-4F-6] Effect of soft X-ray on the surface of fluorinated DLC films

〇Hiroki Takamatsu¹, Masahito Niibe¹, Kazuhiro Kanda¹ (1.Univ. Hyogo)

Keywords:fluorinated DLC,NEXAFS,XPS

フッ素含有DLC(以後F-DLC)薄膜は、生体親和性や低表面自由エネルギー、優れたガスバリア性を示し、人工血管や金型の離型剤として応用されている。他元素を含有したDLC薄膜においてはX線耐性評価についての報告があるが、F-DLC薄膜への軟X線照射に関しては過去に報告例がない。本研究ではF-DLC薄膜に軟X線放射光の照射を行い、X線光電子分光(XPS)測定およびX線吸収端近傍微細構造(NEXAFS)測定を用いて、F-DLC薄膜表面の組成と構造の変化を評価した。