[14a-PA1-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

[14a-PA1-3] EPMA Analyses of Alkoxy-Derived (Na,K)NbO₃ Thin Films

〇Kiyotaka Tanaka¹, Yoko Yamazaki¹, Satoshi Tamaoka¹, Ken-ichi Kakimoto¹ (1.NIT)

Keywords:ferroelectrics,sol-gel process,(Na,K)NbO3

我々は，ゾル‐ゲル法により作製したNKN薄膜の微構造と電気特性との関係を以前報告した。特に揮発性の高いNaとKの出発原料の仕込み組成を検討した結果，過剰比の異なるNa/K＝58/52の溶液から単相のNKN薄膜が得られ，誘電率725，誘電損失8.4%と比較的良好な電気特性を示すことも分かった。今回は，EPMAを用いて仕込み組成の異なるNKN薄膜を分析することによって，二次相の分布や過剰溶液の有効性を再検討した。