[14a-PA1-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

[14a-PA1-4] Preparation and characterization of Li₂O-B₂O₃ oxide-added (K,Na)NbO₃ piezoelectric thin films

〇Mitsunori Iwata¹, Koichiro Hayashi¹, Wataru Sakamoto¹, Takashi Iijima², Isamu Yuitoo³, Toshiaki Takeuchi³, Toshinobu Yogo¹ (1.Nagoya Univ., 2.AIST, 3.Waseda Univ.)

Keywords:ferroelectric thin film,(K,Na)NbO3,chemical solution deposition

本研究では、薄膜作製法として化学溶液法を採用し、K_0.5Na_0.5NbO₃薄膜の作製を行った。ここでは、結晶化処理後の薄膜の絶縁特性の改善をMnドープにより達成し、さらに低融点組成のLi₂O-B₂O₃化合物を薄膜中に添加して結晶粒径を増大させることによる電気的特性の向上を目指した検討を行った。