9:30 AM - 11:30 AM
[14a-PA1-4] Preparation and characterization of Li2O-B2O3 oxide-added (K,Na)NbO3 piezoelectric thin films
Keywords:ferroelectric thin film,(K,Na)NbO3,chemical solution deposition
本研究では、薄膜作製法として化学溶液法を採用し、K0.5Na0.5NbO3薄膜の作製を行った。ここでは、結晶化処理後の薄膜の絶縁特性の改善をMnドープにより達成し、さらに低融点組成のLi2O-B2O3化合物を薄膜中に添加して結晶粒径を増大させることによる電気的特性の向上を目指した検討を行った。