[14a-PA1-1~6] 6.1 Ferroelectric thin films

[14a-PA1-6] Effect of non-uniformity of electric field exerted on domain switching of ferroelectric polymer

〇Jun Takarada¹, Akio Furukawa¹ (1.Tokyo Univ. Science)

Keywords:Domain switching,Ferroelectric polymer,Piezoelectirc force microscopy

圧電応答顕微鏡(PRM)を用いて強誘電薄膜の分極反転をナノスケールに操作する研究が進んでいる．これにより強誘電体メモリの微細化・異方性エッチングによる微細3次元構造形成が期待されている．しかしSPMの針が膜に作る電界は膜面及び膜厚方向に不均一である．この不均一性により，反転の形態・反転領域の広がり方に影響を及ぼす．そこで我々は個の不均一性が強誘電性高分子P(VDF-TrFE)の分極反転に及ぼす影響について解析した．