[14a-PA3-1~29] 11 Superconductivity（Poster）

[14a-PA3-5] Development of a New Fabrication Process of High Temperature Superconductor
Bi2212 Stand Alone Type of Mesa Structure

〇yuuki shibano¹, Takanari Kashiwagi¹, Takeo Kitamura¹, Chiharu Watanabe¹, Yoshihiko Saiwai¹, Hiroyuki Kubo¹, Kazuki Sakamoto¹, Takuya Katsuragawa¹, Takuma Enomoto¹, Hidetoshi Minami¹, Kazuo Kadowaki¹ (1.Univ. of Tsukuba)

Keywords:Superconductor,Terahertz,Josephson

我々は高温超伝導体Bi2212を用いたテラヘルツ波発振素子の開発している。本研究の目的はこのテラヘルツ波発振素子の新規構造である単独メサ構造の作製過程を見直し、できるだけ簡略化することにある。そのために化学的手法で加工する方法を用いて、単独メサ構造の作製を試みた。この方法を用いることでイオンビームによるメサ構造側面の破壊を防ぎ、加工時間を大幅に短縮し、加工にかかるコストを抑えることができる。