[14a-PB7-1~14] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials

[14a-PB7-10] Surface passivation effect of alumina thin films prepared by spin coating methodⅢ

Mizuho Kawashima¹, 〇Ryosuke Watanabe¹, Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:Passivation,Solar Cells,Sol-gel

我々はこれまで、スピンコート法で製膜したアルミナパッシベーション膜について研究を行ってきた。本研究でゾルゲル原料として用いているアルミニウムイソプロポキシドは、水蒸気雰囲気下での焼成によりその分解エネルギーが減少する。そのため低温で焼成できることが報告されている。今回は水蒸気雰囲気下で試料焼成を行うことで、作製したアルミナ膜からこれまでより低い焼成温度でも高いパッシベーション効果が得られた。