[14a-PB7-1~14] 16 Amorphous and Microcrystalline Materials

[14a-PB7-11] Optimization of texturing process for poly-crystalline silicon solar cells using ClF3 plasmaless dry etching(Ⅱ)

Tomoka Abe¹, Yumiko Ichikawa¹, 〇Ryosuke Watanabe¹, Yoji Saito¹ (1.Seikei Univ.)

Keywords:Texturing,Solar cells,Dry etching

ClF₃ガスによる多結晶Si太陽電池のテクスチャ処理による高効率化の検討をしている。これまで、高圧短時間の処理条件で、1μm周期の大きめの凹凸構造を得たが、反射率低減に見合った変換効率の向上が得られなかった。SEMより基板表面には虫食い穴が多量に見られ、そこにAlが入り込むことでリークが発生した。電極部分のテクスチャ処理を行わないことで、変換効率が鏡面に対して1.2倍まで向上した。