[14a-PB7-1~14] 16 非晶質・微結晶

[14a-PB7-11] ClF3 プラズマレスドライエッチングを用いた多結晶Si 太陽電池のテクスチャ処理の最適化(Ⅱ)

安倍 友佳¹、市川 由美子¹、〇渡邊 良祐¹、齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：テクスチャリング、太陽電池、ドライエッチング

ClF₃ガスによる多結晶Si太陽電池のテクスチャ処理による高効率化の検討をしている。これまで、高圧短時間の処理条件で、1μm周期の大きめの凹凸構造を得たが、反射率低減に見合った変換効率の向上が得られなかった。SEMより基板表面には虫食い穴が多量に見られ、そこにAlが入り込むことでリークが発生した。電極部分のテクスチャ処理を行わないことで、変換効率が鏡面に対して1.2倍まで向上した。